精益求精的測量性能

輕松檢測尖銳角

采用了高N.A. 的專用物鏡及能最大限度發(fā)揮405 nm 激光性能的專用光學(xué)系統(tǒng)，LEXT OLS4000可以準(zhǔn)確的測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。

有尖銳角的樣品（剃刀）

LEXT 專用物鏡

克服反射率的差異

LEXT OLS4000 采用了新開發(fā)的雙共焦系統(tǒng)。由于配置了2 個共焦光學(xué)系統(tǒng)，那些一直以來使用激光顯微鏡難以測量的、含有不同反射率材料的樣品，也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。

反射率有差異的樣品（金剛石電鍍工具）

雙共焦系統(tǒng)

多層模式有利于透明層的測量

過去，激光顯微鏡焦點(diǎn)的位置都會設(shè)置在樣品上反射光強(qiáng)度最大的區(qū)域。但是，這樣的設(shè)計(jì)有時候會很難識別透明樣品的正確形狀，因?yàn)榧す夤馐鴷苯哟┻^樣品。LEXT OLS4000 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強(qiáng)度的峰值區(qū)域，并將各層設(shè)為焦點(diǎn)，這樣即可實(shí)現(xiàn)對透明樣品上表面的觀察和測量，而且也可以對多層樣品的各層進(jìn)行分析和厚度測量。

觀察／測量透明材料的上表面
一般而言，使用激光掃描顯微鏡，很難對如金屬基板上的透明膜等樣品進(jìn)行測量。而多層模式則可實(shí)現(xiàn)對此類透明膜樣品的頂層進(jìn)行觀察和測量。

金屬材料的表面涂層 傳統(tǒng)模式

多層模式

分析透明材料的各個層
多層模式也可以對透明樣品的各層進(jìn)行分析。例如，即使該樣品是玻璃基板上的透明樹脂涂層，也可測量出透明材料下那層的形狀和粗糙度，當(dāng)然也可以測量出表面覆膜的厚度。

金屬基板上的聚酰亞胺覆膜

穩(wěn)定測量環(huán)境

為了排除來自外部的影響，穩(wěn)定測量，LEXT OLS4000 機(jī)座內(nèi)置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"混合減震機(jī)構(gòu)"。所以，可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進(jìn)行測量作業(yè)，不需要專用的防震平臺。

受到來自外部的 振動的影響

混合減震機(jī)構(gòu)減輕 振動帶來的影響

兩項(xiàng)性能確保

表示測量儀器的測量精度的，有2個指標(biāo)。一個是測量值與真正值的接近程度（正確性），另一個則是多次測量值的偏差程度（重復(fù)性）。LEXT OLS4000是世界首臺確保了"正確性"和"重復(fù)性"的激光顯微鏡

2個性能確保

OLS4000從鏡頭制造到成品全部在奧林巴斯工廠完成，并按照一系列標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格檢查后出廠。交付產(chǎn)品時的校正和最后的調(diào)整，由選拔出來的技術(shù)人員在實(shí)際使用環(huán)境中執(zhí)行。

更加真實(shí)的再現(xiàn)微小凹凸

微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡，將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差，生成明暗對比，從而實(shí)現(xiàn)對微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察，即使是低倍率的動態(tài)觀察，也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。

有DIC（高分子薄膜）

無DIC（高分子薄膜）

對應(yīng)大范圍觀察

在高倍率影像觀察中，視場范圍會變窄。LEXT OLS4000 搭載了拼接功能，最多可拼接500 幅影像，從而能得到高分辨率和廣視場范圍的影像數(shù)據(jù)。不僅如此，LEXT OLS4000 還能對該廣視場影像進(jìn)行3D 顯示和3D 計(jì)測。

拼接前的影像	拼接后的亮度影像
	拼接后的3D 影像

理想的操作環(huán)境

通過ID 管理來強(qiáng)化自定義和安全性

登錄系統(tǒng)畫面

操作員可以使用自己的ID 登錄系統(tǒng)，對影像數(shù)據(jù)庫和操作環(huán)境進(jìn)行自定義。報告和影像上會顯示ID 號碼，這樣，誰、何時創(chuàng)建或拍攝等信息便一目了然。此外，還可以對每個ID 設(shè)置級別，管理者可以自由分配各操作員的操作范圍和功能范圍。

即使是初次使用者也能安心操作的向?qū)Чδ?

LEXT OLS4000 搭載了詳細(xì)的向?qū)Чδ?，即使是初次使用者也能立即操作儀器，不需要在閱讀使用說明書或培訓(xùn)上花費(fèi)時間。也可以對向?qū)Чδ苓M(jìn)行自定義。

向?qū)Чδ?/span>

自動測量功能* 實(shí)現(xiàn)高效連續(xù)的測量

每個對象反復(fù)進(jìn)行固定方式的測量時，可以準(zhǔn)確而高效地工作。如果重復(fù)測量的次數(shù)很多，就更需要該功能了。自動測量功能（可選項(xiàng)）通過預(yù)先設(shè)置條件，從樣品的校準(zhǔn)到獲得測量結(jié)果，一系列操作都能輕松完成
* 自動測量功能是可選功能。

自動測量功能

不會在觀察中"迷路"的宏觀圖。

一直以來，由于高倍率觀察時的視場變窄，經(jīng)常會有不知道在觀察樣品的哪一部分等情況發(fā)生。LEXT OLS4000 搭載了宏觀圖功能，始終顯示低倍率觀察時的大范圍影像，在影像上指出"現(xiàn)在在這里"。

宏觀圖功能

避免接觸和損壞樣品、自動調(diào)整影像的電動物鏡轉(zhuǎn)換器

電動物鏡轉(zhuǎn)換器

為了避免切換物鏡時損壞樣品，LEXT OLS4000 搭載了標(biāo)準(zhǔn)配置的電動物鏡轉(zhuǎn)換器。切換物鏡時，物鏡轉(zhuǎn)換器自動退避，不會接觸樣品。不僅如此，電動物鏡轉(zhuǎn)換器還能同時自動對準(zhǔn)焦點(diǎn)和影像中心，調(diào)整合適的亮度，實(shí)現(xiàn)了輕松的倍率變換操作。

能提供熟練操作者描繪水平的INR 算法

奧林巴斯根據(jù)長年積累的經(jīng)驗(yàn)和技術(shù)，成功的在設(shè)備中嵌入了相當(dāng)于熟練操作者水平的異常值判斷基準(zhǔn)。這就是新搭載在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作儀器的操作員也能輕松獲得與熟練操作者一樣水平的影像。

使用INR算法

不使用INR算法

實(shí)現(xiàn)了創(chuàng)建報告時必需的快速和簡明易懂

激光顯微鏡可以代替相關(guān)人員，快速而清楚地把觀察和測量結(jié)果制作成報告。LEXT OLS4000在測量結(jié)束后，只要一個點(diǎn)擊就可以完成創(chuàng)建報告任務(wù)。同時，LEXT OLS4000 還備有充實(shí)的編輯功能，可以自由自在地定制各種報告模板。

報告用戶界面

報告完成版本

卓越的粗糙度分析能力

將激光納入表面粗糙度測量儀的標(biāo)準(zhǔn)中

粗糙度測量畫面

作為表面粗糙度測量儀的新標(biāo)準(zhǔn)，奧林巴斯開發(fā)了LEXT OLS4000。對LEXT OLS4000 進(jìn)行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正，并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數(shù)和濾鏡。這樣，對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說，能得到操作性和互換性良好的輸出結(jié)果。另外，還搭載了粗糙度專用模式，可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離最長為100 mm 的粗糙度。

OLS4000與接觸式表面粗糙度測量儀的測量截面曲線比較（截面全長1.6 mm）

LEXT OLS4000 測量所得的截面曲線， λs=2.5 μm 未處理	LEXT OLS4000 測量所得的截面曲線， 采用λs=2.5 μm 處理	接觸式表面粗糙度測量儀測量所得的截面曲線

參數(shù)一覽

LEXT OLS4000 輪廓曲線參數(shù)一覽

LEXT OLS4000 表面粗糙度測量參數(shù)一覽（符合ISO25178）

微細(xì)粗糙度

使用接觸式表面粗糙度測量儀，無法測量比觸針的針尖直徑更細(xì)微的凹凸。而激光顯微鏡有著微小的激光焦斑直徑，所以能夠?qū)ξ⒓?xì)形狀進(jìn)行高分辨率的粗糙度測量。

接觸式表面粗糙度測量儀

激光顯微鏡

非接觸

使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時，樣品容易受到觸針損傷而變形。另外，帶有粘性的樣品會粘在觸針上，無法得到正確的測量結(jié)果。而非接觸式的激光顯微鏡，不會被樣品的表面狀態(tài)所影響，可以準(zhǔn)確的測量樣品的表面粗糙度。

柔軟的樣品

帶有粘性的樣品

細(xì)微處也可以測量

使用接觸式表面粗糙度測量儀，其觸針無法進(jìn)入微小領(lǐng)域，所以不能對微小領(lǐng)域進(jìn)行測量。而激光顯微鏡可以正確定位，能輕松測量出特定微小領(lǐng)域的粗糙度。

焊線